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產(chǎn)品展示檢測(cè)儀器MITUTOYO/日本三豐日本MITUTOYO小型?高精度掃描探針 SP25M
產(chǎn)品型號(hào)：
更新時(shí)間：2025-07-26
廠商性質(zhì)：代理商
訪 問(wèn) 量 ：575
028-68749778
產(chǎn)品分類(lèi)
| 品牌 | MITUTOYO/日本三豐 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 產(chǎn)品種類(lèi) | 龍門(mén)式 |
| 工作方式 | 垂直式 | 工作原理 | 自動(dòng)型 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本MITUTOYO小型?高精度掃描探針 SP25M
日本MITUTOYO小型?高精度掃描探針 SP25M
SP25M采用革命性的三級(jí)減震架構(gòu)：（1）陶瓷基座內(nèi)置空氣阻尼器，衰減環(huán)境振動(dòng)達(dá)90%；（2）鈦合金探針臂重量?jī)H0.8g，較傳統(tǒng)鋼制結(jié)構(gòu)減輕65%；（3）納米級(jí)預(yù)緊力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，通過(guò)0.01N·m扭矩螺絲實(shí)現(xiàn)測(cè)針夾持微調(diào)。這種設(shè)計(jì)使探頭整體尺寸控制在Φ3.2×15mm，為目前同精度等級(jí)最小體積。
核心測(cè)量模塊包含：
光學(xué)編碼器：采用衍射光柵技術(shù)，分辨率達(dá)0.5nm
電容式位移傳感器：帶寬1kHz，響應(yīng)時(shí)間<0.5ms
溫度補(bǔ)償單元：內(nèi)置4個(gè)PT100傳感器，實(shí)時(shí)修正熱變形誤差
測(cè)試數(shù)據(jù)顯示，在ISO Class 4潔凈環(huán)境下，對(duì)硅晶圓標(biāo)準(zhǔn)片進(jìn)行100次重復(fù)測(cè)量，Z軸標(biāo)準(zhǔn)偏差僅為1.2nm（依據(jù)ISO 4287標(biāo)準(zhǔn)）。
在豐田汽車(chē)噴油嘴檢測(cè)項(xiàng)目中：
測(cè)量對(duì)象：Φ0.12mm微孔內(nèi)壁粗糙度
對(duì)比設(shè)備：傳統(tǒng)接觸式輪廓儀
SP25M優(yōu)勢(shì)：
測(cè)量時(shí)間縮短40%（單孔3分鐘→1.8分鐘）
數(shù)據(jù)完整性提升（可獲取傳統(tǒng)設(shè)備無(wú)法觸及的底部30%區(qū)域）
劃傷率降至0.1%以下
通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)化接口（符合ISO 9409-1）可快速對(duì)接：
三豐CV-3200輪廓儀（需選配MNT-20適配器）
蔡司O-INSPECT多傳感器測(cè)量機(jī)
基恩士VHX-6000數(shù)字顯微鏡
典型配置包含：
SP25M探頭本體 ×1 R0.1μm金剛石測(cè)針 ×3 校準(zhǔn)證書(shū)（JIS B 7506） ×1 防震運(yùn)輸箱（IP67） ×1
日常維護(hù)：每周用超純乙醇清潔測(cè)針接觸面
周期校準(zhǔn)：建議每500小時(shí)或溫度變化>5℃時(shí)進(jìn)行
壽命指標(biāo)：
測(cè)針：50萬(wàn)次接觸（R0.1μm規(guī)格）
傳感器：≥3年（基于加速老化試驗(yàn)）
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