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產品展示

當前位置:首頁產品展示檢測儀器海克斯康HEXAGON海克斯康HEXAGON高精度三坐標測量機xpert

海克斯康HEXAGON高精度三坐標測量機xpert
產品簡介:

海克斯康HEXAGON高精度三坐標測量機xpert采用納米級分辨率光柵系統,實現0.5μm+L/500μm的計量級精度,溫度穩定性達±0.1℃/m。其ULTRA-DAMP靜音減震機構與CERTO-ULTRA控制系統配合,可在Class 1級潔凈環境中完成微米級重復性測量。標配METROSOFT專業計量軟件,支持VDI/VDE 2617標準認證,專用于精密光學元件、半導體模具、計量標準器

產品型號:

更新時間:2025-08-01

廠商性質:代理商

訪 問 量 :1009

服務熱線

028-68749778

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產品介紹
品牌Hexagon/海克斯康產地類別進口
價格區間面議產品種類橋式
工作方式垂直式工作原理自動型
應用領域綜合

海克斯康HEXAGON高精度三坐標測量機xpert

海克斯康HEXAGON高精度三坐標測量機xpert

海克斯康HEXAGON高精度三坐標測量機xpert

一、產品概述

海克斯康HEXAGON XPERT系列是專為計量實驗室和制造領域研發的超高精度三坐標測量機,代表了當代坐標測量技術的超高水平。該產品基于ISO 10360-8國際標準開發,通過德國PTB認證,能夠滿足VDI/VDE 2617最高精度等級要求,是精密制造領域計的量基準設備。

二、核心技術架構

  1. 精密機械系統

  • 采用天然花崗巖基座與精密陶瓷導軌組合,熱膨脹系數低至0.8×10??/K

  • ULTRA-DAMP靜音減震機構,可將環境振動影響降低90%以上

  • 納米級分辨率光柵系統,分辨率達0.001μm,重復定位精度優于0.3μm

  1. 智能控制系統

  • CERTO-ULTRA多核并行控制系統,采樣頻率高達1000Hz

  • 自適應溫度補償算法,實時修正環境溫度變化帶來的測量誤差

  • 智能碰撞防護系統,可檢測0.1N級別的異常接觸力

  1. 測量軟件平臺

  • 標配METROSOFT Ultra專業計量軟件,支持PMI全尺寸自動評價

  • 內置132種國際/行業標準評價規范數據庫

  • 支持點云數據處理與CAD數模對比分析

三、性能參數

項目

技術指標

最大允許誤差(MPEE)

0.5μm+L/500μm

單軸重復性

≤0.3μm

空間探測誤差

小于等于0.8μm

溫度穩定性

±0.1℃/m

最大測量速度

300mm/s

四、典型應用

  1. 精密光學元件檢測

  • 可測量直徑0.1mm的微型透鏡曲率半徑

  • 非球面光學元件面形精度評價

  • 自由曲面光學器件逆向工程

  1. 半導體制造領域

  • 光刻機零部件形位公差檢測

  • 晶圓載具平面度測量

  • 蝕刻模具三維輪廓分析

  1. 計量標準器檢定

  • 標準環規/塞規尺寸溯源

  • 多齒分度臺角度基準校準

  • 激光干涉儀反射鏡面形檢測

五、服務支持

提供完整的計量解決方案,包含:

  • 現場安裝調試與CMM認證服務

  • 年度精度校準與維護保養

  • 操作人員專業培訓課程

  • 24小時遠程技術支持

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