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產(chǎn)品展示

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品展示檢測儀器海克斯康HEXAGON??怂箍礖EXAGON高精度三坐標(biāo)測量機(jī)xpert

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產(chǎn)品簡介:

海克斯康HEXAGON高精度三坐標(biāo)測量機(jī)xpert采用納米級(jí)分辨率光柵系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)0.5μm+L/500μm的計(jì)量級(jí)精度,溫度穩(wěn)定性達(dá)±0.1℃/m。其ULTRA-DAMP靜音減震機(jī)構(gòu)與CERTO-ULTRA控制系統(tǒng)配合,可在Class 1級(jí)潔凈環(huán)境中完成微米級(jí)重復(fù)性測量。標(biāo)配METROSOFT專業(yè)計(jì)量軟件,支持VDI/VDE 2617標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,專用于精密光學(xué)元件、半導(dǎo)體模具、計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器

產(chǎn)品型號(hào):

更新時(shí)間:2025-08-01

廠商性質(zhì):代理商

訪 問 量 :787

服務(wù)熱線

028-68749778

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產(chǎn)品介紹
品牌Hexagon/海克斯康產(chǎn)地類別進(jìn)口
價(jià)格區(qū)間面議產(chǎn)品種類橋式
工作方式垂直式工作原理自動(dòng)型
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

??怂箍礖EXAGON高精度三坐標(biāo)測量機(jī)xpert

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海克斯康HEXAGON高精度三坐標(biāo)測量機(jī)xpert

一、產(chǎn)品概述

??怂箍礖EXAGON XPERT系列是專為計(jì)量實(shí)驗(yàn)室和制造領(lǐng)域研發(fā)的超高精度三坐標(biāo)測量機(jī),代表了當(dāng)代坐標(biāo)測量技術(shù)的超高水平。該產(chǎn)品基于ISO 10360-8國際標(biāo)準(zhǔn)開發(fā),通過德國PTB認(rèn)證,能夠滿足VDI/VDE 2617最高精度等級(jí)要求,是精密制造領(lǐng)域計(jì)的量基準(zhǔn)設(shè)備。

二、核心技術(shù)架構(gòu)

  1. 精密機(jī)械系統(tǒng)

  • 采用天然花崗巖基座與精密陶瓷導(dǎo)軌組合,熱膨脹系數(shù)低至0.8×10??/K

  • ULTRA-DAMP靜音減震機(jī)構(gòu),可將環(huán)境振動(dòng)影響降低90%以上

  • 納米級(jí)分辨率光柵系統(tǒng),分辨率達(dá)0.001μm,重復(fù)定位精度優(yōu)于0.3μm

  1. 智能控制系統(tǒng)

  • CERTO-ULTRA多核并行控制系統(tǒng),采樣頻率高達(dá)1000Hz

  • 自適應(yīng)溫度補(bǔ)償算法,實(shí)時(shí)修正環(huán)境溫度變化帶來的測量誤差

  • 智能碰撞防護(hù)系統(tǒng),可檢測0.1N級(jí)別的異常接觸力

  1. 測量軟件平臺(tái)

  • 標(biāo)配METROSOFT Ultra專業(yè)計(jì)量軟件,支持PMI全尺寸自動(dòng)評(píng)價(jià)

  • 內(nèi)置132種國際/行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)評(píng)價(jià)規(guī)范數(shù)據(jù)庫

  • 支持點(diǎn)云數(shù)據(jù)處理與CAD數(shù)模對(duì)比分析

三、性能參數(shù)

項(xiàng)目

技術(shù)指標(biāo)

最大允許誤差(MPEE)

0.5μm+L/500μm

單軸重復(fù)性

≤0.3μm

空間探測誤差

小于等于0.8μm

溫度穩(wěn)定性

±0.1℃/m

最大測量速度

300mm/s

四、典型應(yīng)用

  1. 精密光學(xué)元件檢測

  • 可測量直徑0.1mm的微型透鏡曲率半徑

  • 非球面光學(xué)元件面形精度評(píng)價(jià)

  • 自由曲面光學(xué)器件逆向工程

  1. 半導(dǎo)體制造領(lǐng)域

  • 光刻機(jī)零部件形位公差檢測

  • 晶圓載具平面度測量

  • 蝕刻模具三維輪廓分析

  1. 計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器檢定

  • 標(biāo)準(zhǔn)環(huán)規(guī)/塞規(guī)尺寸溯源

  • 多齒分度臺(tái)角度基準(zhǔn)校準(zhǔn)

  • 激光干涉儀反射鏡面形檢測

五、服務(wù)支持

提供完整的計(jì)量解決方案,包含:

  • 現(xiàn)場安裝調(diào)試與CMM認(rèn)證服務(wù)

  • 年度精度校準(zhǔn)與維護(hù)保養(yǎng)

  • 操作人員專業(yè)培訓(xùn)課程

  • 24小時(shí)遠(yuǎn)程技術(shù)支持

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    請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
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