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產品展示

當前位置:首頁產品展示檢測儀器海克斯康HEXAGON海克斯康Hexagon三坐標測量LeitzReference

海克斯康Hexagon三坐標測量LeitzReference
產品簡介:

海克斯康Hexagon三坐標測量LeitzReference搭載QUARTZ系列納米級計量系統,實現0.15μm+L/800μm的基準級測量精度,溫度補償精度達±0.05℃/h。其創新的REFERENCE-SPHERE基準球自校準系統,配合六自由度誤差補償技術,可在ISO 17025認證實驗室環境下保持0.2μm/24h的穩定性。

產品型號:

更新時間:2025-08-01

廠商性質:代理商

訪 問 量 :466

服務熱線

028-68749778

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產品介紹
品牌Hexagon/海克斯康產地類別進口
價格區間面議產品種類橋式
工作方式垂直式工作原理自動型
應用領域綜合

海克斯康Hexagon三坐標測量LeitzReference

海克斯康Hexagon三坐標測量LeitzReference

海克斯康Hexagon三坐標測量LeitzReference

計量基準級精密測量的技術

Leitz Reference系列代表著海克斯康在工業計量領域的最高技術成就,專為計量實驗室和制造領域設計。作為幾何量測量的標準器,其突破性的技術架構重新定義了精密測量的可能性邊界。

一、革命性的測量系統架構

  1. QUARTZ納米級計量系統

    • 采用零膨脹石英玻璃光柵尺,熱膨脹系數低至0.05×10??/K

    • 配備雙頻激光干涉儀,實現0.1nm分辨率

    • 六軸全閉環控制,實時補償位置偏差

  2. THERMO-ULTRA環境控制系統

    • 64點溫度監測網絡,采樣頻率10Hz

    • 自適應補償算法,溫度穩定性±0.01℃/4h

    • 主動氣浮隔震平臺,振動抑制>40dB(15-100Hz)

二、突破性的性能指標

參數類別

技術指標

測試標準

空間精度

0.15μm+L/800μm

ISO 10360-2

重復性

≤0.08μm(3σ)

VDI/VDE 2617

溫度穩定性

0.2μm/24h

JJF 1064

最大允許誤差

小于0.3μm+0.4L/1000μm

DIN 876

三、創新的應用解決方案

  1. 標準器溯源檢測

    • 可校準1等量塊、標準環規等最高等級計量器具

    • 支持PLM模式下的絕對測量,不確定度<0.1μm

  2. 芯片制造質量控制

    • 晶圓翹曲度測量分辨率達5nm

    • 光刻機工件臺平面度全自動檢測

  3. 航空航天關鍵部件

    • 發動機葉片葉型輪廓測量,點距可調至10μm

    • 航天器光學基準面共面性分析

四、智能化的測量流程

  1. REFERENCE-SPHERE智能校準系統

    • 內置?50mm基準球,自校準時間<15分鐘

    • 全自動誤差映射,生成補償系數矩陣

  2. LEITZ-EXPERT測量軟件

    • 支持ISO 14253-1標準下的不確定性評估

    • 可生成符合ILAC-P14要求的校準證書

  3. 遠程監控與診斷

    • 4G/5G數據傳輸,實時監測設備狀態

    • AI驅動的預測性維護系統

重新定義精密測量的未來

Leitz Reference不僅是一臺測量設備,更是現代制造業的質量基石。其突破性的技術架構為芯片制造、航空航天、精密光學等領域提供了可靠的計量保障,將持續工業計量技術的新發展。


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