日本SSD HDC-AC 除靜電除塵清掃箱 Trz:MaXi

日本SSD HDC-AC 除靜電除塵清掃箱 Trz:MaXi

日本SSD（Shishido Electrostatic）公司推出的Trz:CuBe系列除靜電除塵清掃箱，專為高潔凈度環(huán)境設計，結合HDC-AC技術與離心式除塵系統(tǒng)，實現(xiàn)靜電消除與粉塵清理的雙重功能。該產(chǎn)品適用于半導體、光電等精密制造領域，有效解決靜電吸附導致的粉塵污染和元件損傷問題。

核心技術參數(shù)與設計亮點

• ?HDC-AC技術?：采用SSD有的HDC-AC離子發(fā)生系統(tǒng)，通過交流脈沖放電動態(tài)調(diào)節(jié)離子平衡，確保正負離子比例精準匹配，消除時間縮短至1秒以內(nèi)。離子平衡偏差控制在±30V以內(nèi)，長期使用性能穩(wěn)定，衰減率極低。

• ?離心式除塵系統(tǒng)?：內(nèi)置離心式風機，產(chǎn)生強勁氣流，可清除98%以上10μm或更大顆粒的粉塵。支持多級吹氣脈沖設置（1Hz、10Hz可選），吹氣時間可調(diào)（3秒至15秒），確保高效除塵不飛散。

• ?防污結構設計?：電極針采用防塵設計，配合空氣吹掃功能，防止污染，延長維護周期。產(chǎn)品外殼為鋁合金材質(zhì)，抗電磁干擾能力強，適用于0-40℃環(huán)境溫度。

應用場景與行業(yè)適配

Trz:CuBe系列廣泛應用于對靜電和粉塵敏感的精密制造領域：

• ?半導體晶圓加工?：在晶圓生產(chǎn)線中，消除晶圓表面靜電，避免光刻工藝中的缺陷，同時清理加工產(chǎn)生的微塵。

• ?電子元件封裝?：用于PCB板、芯片封裝等環(huán)節(jié)，防止靜電擊穿敏感元件，提升良品率，并清除封裝過程中的粉塵。

• ?光學薄膜生產(chǎn)?：在液晶面板、柔性薄膜制造中，減少靜電吸附導致的劃痕和異物污染，確保產(chǎn)品表面潔凈。

配套解決方案與優(yōu)勢

SSD提供完整的靜電消除與除塵生態(tài)鏈，Trz:CuBe可搭配以下設備協(xié)同工作：

• ?SAT系列電源?：如SAT-11、SAT-20等，提供穩(wěn)定高壓輸出，集成電路保護功能，確保系統(tǒng)安全運行。

• ?靜電測試儀?：DZ4、DP等型號實時監(jiān)測靜電消除效果，形成閉環(huán)質(zhì)量控制。

• ?分支盒與連接器?：支持多臺設備并聯(lián)控制，擴展覆蓋范圍，適用于大型生產(chǎn)線.

安裝與維護指南

• ?安裝位置?：建議設備與工件距離30-50mm，吹氣方向與工件移動方向一致，以大化覆蓋效率。工作壓力范圍為0.2MPa-0.6MPa，需使用清潔干燥空氣7。

• ?日常維護?：定期使用乙醇棉簽清潔電極針，避免灰塵堆積影響放電效果。濾芯可更換，維護簡單方便

• ?環(huán)境要求?：適用于15-85%相對濕度環(huán)境，無冷凝，確保設備穩(wěn)定運行