產(chǎn)品型號(hào)：
更新時(shí)間：2025-11-18
廠商性質(zhì)：代理商
訪 問 量 ：293
028-68749778
產(chǎn)品分類
| 品牌 | FLUORO/日本福樂 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
日本FLUORO福樂 851-L 抗靜電真空管線
日本FLUORO福樂 851-L 抗靜電真空管線
日本FLUORO福樂（Fluoro Mechanic）是一家專注于半導(dǎo)體晶圓處理工具的制造商，其產(chǎn)品線包括真空吸筆、晶圓夾、無油隔膜式真空泵以及真空管線等?。在半導(dǎo)體制造等精密工業(yè)中，抗靜電是至關(guān)重要的要求，因此其真空吸筆和配套管線都設(shè)計(jì)有抗靜電功能。
抗靜電真空管線的通用特性
851-L型號(hào)，但提到了配套抗靜電真空吸筆所需的真空管線應(yīng)具備?表面電阻率在103-10?Ω/cm2?的特性，以確保系統(tǒng)無靜電累積風(fēng)險(xiǎn)?。這通常意味著管線本身由具有導(dǎo)電或抗靜電性能的材料制成，能夠有效導(dǎo)走操作過程中產(chǎn)生的靜電荷，保護(hù)敏感的晶圓等元件免受靜電損傷。
與抗靜電真空吸筆的配套使用
FLUORO福樂的抗靜電真空吸筆（如C003型號(hào)）在操作時(shí)，需要與無油隔膜真空泵及抗靜電真空管線配合使用，共同構(gòu)成一個(gè)完整的無靜電吸附系統(tǒng)?。這種系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓的無損搬運(yùn)、鐘表、珠寶制造等對(duì)潔凈度和防靜電有嚴(yán)苛要求的場(chǎng)景?。
產(chǎn)品系列與選擇
FLUORO福樂提供了多樣化的產(chǎn)品系列以滿足不同需求，包括抗靜電系列和防酸系列等?。在選擇真空管線時(shí)，可能需要根據(jù)具體的應(yīng)用環(huán)境（如是否需要耐化學(xué)腐蝕）以及所搭配的吸筆型號(hào)（如F001、F002、C003等）來匹配合適的管線?。
| 最大應(yīng)用壓力： 100% = 8.0 kgf/cm2 |
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| 型號(hào) | D1 | D2 | L1 | L2 | L3 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 851-L | 6mm | 4mm | 400mm | 500mm | 1000mm | 118g |
| 851-M | 5mm | 3mm | 400mm | 500mm | 1000mm | 84g |
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