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產(chǎn)品展示

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品展示生產(chǎn)工具耗材ULVAC/日本愛發(fā)科日本ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨式干式真空泵GR60

日本ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨式干式真空泵GR60
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

日本ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨式干式真空泵GR60低溫分布的均勻性。在PVD工藝中,抽空LL腔的優(yōu)化泵,縮短排氣時(shí)間以提高吞吐量很重要功能。

產(chǎn)品型號(hào):

更新時(shí)間:2026-04-03

廠商性質(zhì):代理商

訪 問 量 :212

服務(wù)熱線

028-68749778

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產(chǎn)品介紹
品牌ULVAC/日本愛發(fā)科輸送介質(zhì)其他
泵軸位置臥式葉輪數(shù)目其他
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

日本ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨式干式真空泵GR60

日本ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨式干式真空泵GR60


日本ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨式干式真空泵GR60

功能

  • 特別適用于高負(fù)荷應(yīng)用,例如在大氣壓和真空中反復(fù)抽氣以及在高壓范圍內(nèi)連續(xù)運(yùn)行。

  • 適用于需要高吞吐量的裝貨/卸貨鎖斗。

  • 使用通用感應(yīng)電動(dòng)機(jī)。防爆電動(dòng)機(jī)可選。

  • 應(yīng)用多電壓電機(jī)

應(yīng)用程序

  • 清潔氣體真空泵如空氣、惰性氣體。

  • 裝卸各種沉積設(shè)備的鎖止腔。

  • 通用工業(yè)應(yīng)用,如真空干燥機(jī)、真空熱絕緣中的真空氣體交換和充氣、真空脫氣等。

規(guī)格

模型GR60AGR90AGR180A
最大泵送
速度
50赫茲米3/小時(shí)(升/分鐘)62(1030)112(1860)183(3100)
60赫茲米3/小時(shí)(升/分鐘)80(1333)126(2100)237(3850)
壓力 *1帕5.0
最大入口壓力大氣壓力
最大排氣壓力帕1.0 大氣壓
入口端口VG50VG80
出口端口NW40
表面處理〇
發(fā)動(dòng)機(jī)輸出 [千瓦]2.23.77.5
電壓 [V]50赫茲200 - 240/380 - 415
60赫茲200 - 240/380 - 460
重量千克128188268
冷卻水供應(yīng)
壓力
兆帕0.1 - 0.3
輸入/輸出差異
壓力
兆帕>0.1
溫度℃10 - 30 *2
流量升/分鐘>5.0
氮2一次側(cè)
供應(yīng)
壓力
兆帕0.1 - 0.5
次級(jí)側(cè)
調(diào)節(jié)
壓力 *3
兆帕0.05 到 0.1(運(yùn)行時(shí))
軸選擇性激光熔化5.0 * 4

*1 最終壓力是在氮?dú)猓ㄝS封氣)流量為5.0SLM時(shí)的值。
*2 非冷凝。
*3 壓力表上的值通過氣體調(diào)節(jié)器調(diào)整。
*4 氮?dú)猓ㄝS封氣)的流量固定為5.0SLM。




配件

模型材料表面
處理
重量 (千克)法蘭
連接
GR60AGR90AGR180A
消音器RS-01+
套件A
SUS304GBB
治療
4.1KF40〇〇輸入:-
RS-01+
套件 C
SUS304GBB
治療
8.3KF40輸入:-輸入:-〇




泵速曲線

日本ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨式干式真空泵GR60




尺寸圖

  • GR60日本ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨式干式真空泵GR60

  • GR90A日本ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨式干式真空泵GR60

  • GR180日本ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨式干式真空泵GR60



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