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產品展示

當前位置:首頁產品展示生產工具耗材ULVAC/日本愛發科日本ULVAC愛發科多級羅茨式干式真空泵GR60

日本ULVAC愛發科多級羅茨式干式真空泵GR60
產品簡介:

日本ULVAC愛發科多級羅茨式干式真空泵GR60低溫分布的均勻性。在PVD工藝中,抽空LL腔的優化泵,縮短排氣時間以提高吞吐量很重要功能。

產品型號:

更新時間:2026-04-03

廠商性質:代理商

訪 問 量 :134

服務熱線

028-68749778

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產品介紹
品牌ULVAC/日本愛發科輸送介質其他
泵軸位置臥式葉輪數目其他
應用領域綜合

日本ULVAC愛發科多級羅茨式干式真空泵GR60

日本ULVAC愛發科多級羅茨式干式真空泵GR60


日本ULVAC愛發科多級羅茨式干式真空泵GR60

功能

  • 特別適用于高負荷應用,例如在大氣壓和真空中反復抽氣以及在高壓范圍內連續運行。

  • 適用于需要高吞吐量的裝貨/卸貨鎖斗。

  • 使用通用感應電動機。防爆電動機可選。

  • 應用多電壓電機

應用程序

  • 清潔氣體真空泵如空氣、惰性氣體。

  • 裝卸各種沉積設備的鎖止腔。

  • 通用工業應用,如真空干燥機、真空熱絕緣中的真空氣體交換和充氣、真空脫氣等。

規格

模型GR60AGR90AGR180A
最大泵送
速度
50赫茲3/小時(升/分鐘)62(1030)112(1860)183(3100)
60赫茲3/小時(升/分鐘)80(1333)126(2100)237(3850)
壓力 *15.0
最大入口壓力大氣壓力
最大排氣壓力1.0 大氣壓
入口端口VG50VG80
出口端口NW40
表面處理
發動機輸出 [千瓦]2.23.77.5
電壓 [V]50赫茲200 - 240/380 - 415
60赫茲200 - 240/380 - 460
重量千克128188268
冷卻水供應
壓力
兆帕0.1 - 0.3
輸入/輸出差異
壓力
兆帕>0.1
溫度10 - 30 *2
流量升/分鐘>5.0
氮2一次側
供應
壓力
兆帕0.1 - 0.5
次級側
調節
壓力 *3
兆帕0.05 到 0.1(運行時)
選擇性激光熔化5.0 * 4

*1 最終壓力是在氮氣(軸封氣)流量為5.0SLM時的值。
*2 非冷凝。
*3 壓力表上的值通過氣體調節器調整。
*4 氮氣(軸封氣)的流量固定為5.0SLM。




配件

模型材料表面
處理
重量 (千克)法蘭
連接
GR60AGR90AGR180A
消音器RS-01+
套件A
SUS304GBB
治療
4.1KF40輸入:-
RS-01+
套件 C
SUS304GBB
治療
8.3KF40輸入:-輸入:-




泵速曲線

日本ULVAC愛發科多級羅茨式干式真空泵GR60




尺寸圖

  • GR60日本ULVAC愛發科多級羅茨式干式真空泵GR60

  • GR90A日本ULVAC愛發科多級羅茨式干式真空泵GR60

  • GR180日本ULVAC愛發科多級羅茨式干式真空泵GR60



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