產(chǎn)品展示
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產(chǎn)品展示生產(chǎn)工具耗材ULVAC/日本愛發(fā)科日本ULVAC愛發(fā)科高真空濺射離子泵PST-030CU
產(chǎn)品型號(hào)：
更新時(shí)間：2026-04-03
廠商性質(zhì)：代理商
訪 問 量 ：182
028-68749778
產(chǎn)品分類
| 品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 泵軸位置 | 臥式 | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科高真空濺射離子泵PST-030CU
日本ULVAC愛發(fā)科高真空濺射離子泵PST-030CU
分離式泵體和控制器
控制器可以監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持多種通信標(biāo)準(zhǔn)。
自由安裝方向
自由安裝方向使系統(tǒng)設(shè)計(jì)更加靈活。
泵速300L/s到4000L/s級(jí)陣容
泵旋轉(zhuǎn)變量從25%到100%
通過改變旋轉(zhuǎn)速度來啟用腔室的壓力調(diào)節(jié)。
高耐久性和安全性
通過了諸如空氣沖擊測(cè)試和接地測(cè)試等安全確認(rèn)測(cè)試。
設(shè)備主要真空泵系統(tǒng)
- 半導(dǎo)體設(shè)備
- 蒸發(fā)器，濺射系統(tǒng)
- 分析設(shè)備，實(shí)驗(yàn)裝置等
主要的真空氣泵系統(tǒng)用于不產(chǎn)生副反應(yīng)產(chǎn)物的輕質(zhì)工藝。
用于高真空 evac 系統(tǒng)的通用設(shè)備。
| 模型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 入口端口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
| 輸出端口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷卻方法 | 水 冷卻 | 空氣 冷卻 | 水 冷卻 | 空氣 冷卻 | 水 冷卻 | 空氣 冷卻 | 水 冷卻 | 空氣 冷卻 | ||
| 壓力 *1 | 帕 | 10-7 | 10-8 | |||||||
| 泵速 *2 | 氮2 | 中長(zhǎng)褲 | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| 阿 | 中長(zhǎng)褲 | ー | ||||||||
| 他 | 中長(zhǎng)褲 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| H2 | 中長(zhǎng)褲 | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 壓縮率 | 氮2 | 1×109 | ||||||||
| 他 | 8×104 | |||||||||
| H2 | 1×104 | 4×103 | ||||||||
| 最大入口壓力 *3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 最大出口壓力 *3 | 帕 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 旋轉(zhuǎn)速度 | 每分鐘轉(zhuǎn)數(shù) | 45000 | 35000 | |||||||
| 啟動(dòng)時(shí)間 | 5分鐘或更少 | |||||||||
| 安裝位置 | 在任何期望的方向 | |||||||||
| 表面處理 | 鎳鍍層 | |||||||||
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 1 - 3 | ー | 1 - 3 | ー | 1 - 3 | ー | 1 - 3 | ー |
| 壓力 | 兆帕格 | 02 - 0.5 | ー | 02 - 0.5 | ー | 02 - 0.5 | ー | 02 - 0.5 | ー | |
| 噪音 | 分貝（A） | 60 | ||||||||
| 重量 | 千克 | 14 | 33 | 32 | ||||||
| 推薦的背壓泵 | 200升/分鐘或更多 | 500升/分鐘或更多 | ||||||||
| 控制器 | 組成 | 單獨(dú)類型 | ||||||||
| 輸入電功率 | 單相交流200 ?240V ±10%（ 50/60Hz ±2Hz） | |||||||||
| 最大功率 | 0.55 | 1.0 | ||||||||
| 速度變化 | 速度可在額定速度的25%到100%之間變化。（設(shè)置為0.1%） | |||||||||
| 溝通 | 聯(lián)系 | |||||||||
| 串口：RS-232C / RS-485 | ||||||||||
| 重量 | 千克 | 8 | ||||||||
| 模型 | UTM1300A-MS | UTM1500A-MS | UTM2400A-MS | UTM3400A-MS | UTM4300A-MS | ||
| 入口端口 | VG200 / ICF253 | VG250 | VG300 / VG350 | VG350 | |||
| 輸出端口 | KF40 | ||||||
| 冷卻方法 | 水冷 | ||||||
壓力 *1 | 帕 | 10-7 | |||||
| 泵速 *2 | 氮2 | 中長(zhǎng)褲 | 1300 | 1500 | 2100 | 3200 | 4400 |
| 阿 | 中長(zhǎng)褲 | ー | 2000 | 3100 | 4200 | ||
| 他 | 中長(zhǎng)褲 | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | ー | |
| H2 | 中長(zhǎng)褲 | 750 | 800 | 1770 | 2200 | 2600 | |
| 壓縮率 | 氮2 | 6×108 | 1×109 | ||||
| 他 | 1×104 | 7×104 | 1×105 | 3×104 | |||
| H2 | 1×103 | 3×103 | 6×103 | 2×103 | |||
| 最大入口壓力 *3 | 帕 | 133 | 40 | ||||
| 最大出口壓力 *3 | 帕 | 270 | 270 | ||||
| 旋轉(zhuǎn)速度 | 每分鐘轉(zhuǎn)數(shù) | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
| 啟動(dòng)時(shí)間 | 7分鐘或更少 | 11分鐘或更少 | 12分鐘或更少 | 18分鐘或更少 | |||
| 安裝位置 | 在任何期望的方向 | ||||||
| 表面處理 | 鎳鍍層 | ||||||
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 1 - 3 | 2 - 4 | |||
| 壓力 | 兆帕格 | 02 - 0.5 | |||||
| 噪音 | 分貝（A） | 60 | 57 | 60 | |||
| 重量 | 千克 | 39 | 42 | 70 | 84 | 105 | |
| 推薦的背壓泵 | 600升/分鐘或更多 | 1300升/分鐘或更多 | 1500升/分鐘或更多 | ||||
| 控制器 | 組成 | 單獨(dú)類型 | |||||
| 輸入電功率 | 單相交流200 ?240V ±10%（ 50/60Hz ±2Hz） | ||||||
| 最大功率 | 1.0 | 1.5 | |||||
| 速度變化 | 速度可在額定速度的25%到100%之間變化。（設(shè)置為0.1%） | ||||||
| 溝通 | 聯(lián)系 | ||||||
| 串口：RS-232C / RS-485 | |||||||
| 重量 | 千克 | 8 | |||||
*1：數(shù)字表示。
*2：沒有保護(hù)網(wǎng)。
*3：最大入口壓力和最大出口壓力不能同時(shí)滿足。
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