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產(chǎn)品展示生產(chǎn)工具耗材ULVAC/日本愛發(fā)科日本ULVAC愛發(fā)科氣體分析儀Qulee CGM2-051
產(chǎn)品型號(hào)：
更新時(shí)間：2026-04-08
廠商性質(zhì)：代理商
訪 問 量 ：357
028-68749778
產(chǎn)品分類
| 品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 泵軸位置 | 臥式 | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科氣體分析儀Qulee CGM2-051
日本ULVAC愛發(fā)科氣體分析儀Qulee CGM2-051
適用于各種濺射系統(tǒng)的理想過程監(jiān)測(cè)
監(jiān)測(cè)空氣泄漏
殘余水分管理
不需要差動(dòng)泵系統(tǒng)（7.5 x 10-3 托/1 x 10-2 毫巴時(shí)小于1帕）
內(nèi)置顯示器：無(wú)需電腦
高靈敏度泄漏測(cè)試可能 (CGM2-052)。更多泄漏測(cè)試。
提供多種泄漏測(cè)試（氦氣泄漏測(cè)試、空氣泄漏測(cè)試、組件測(cè)試）
總壓力測(cè)量（離子ization gauge）可能
包括快速安裝包系統(tǒng) (QIP)。自動(dòng)測(cè)量包（詳見選項(xiàng)目錄）。
Qulee QCS 包含在內(nèi)：此軟件包含在內(nèi)且兼容 (Windows 8/10/11)
符合CE標(biāo)準(zhǔn)
光伏、平板顯示器和半導(dǎo)體系統(tǒng)的工藝監(jiān)控
PVD系統(tǒng)中的殘余氣體分析
在PVD系統(tǒng)中控制雜質(zhì)（H2O等）
用于泄漏測(cè)試
| 模型 | CGM2-051 | CGM2-052 | CGM2-101 | CGM2-102 |
| 質(zhì)量過濾器類型 | 四極矩 | |||
| 質(zhì)量范圍 | 1到50道爾頓 | 1到100 AMU | ||
| 分辨率 | M/ΔM=1M (10% P.H.) | |||
| 探測(cè)器類型 | 法拉第杯 (FC) | 電子顯微鏡 (SEM) / 法拉第杯 (FC) | 法拉第杯 (FC) | 電子顯微鏡 (SEM) / 法拉第杯 (FC) |
| 敏感度 | 0.1微安/帕 | SEM：0.1毫安/帕 | 0.1微安/帕 | SEM：0.1毫安/帕 |
| 13.3 微安/托 | SEM：13.3 毫安/托 | 13.3 微安/托 | SEM：13.3 毫安/托 | |
| 10 微安/毫巴 | SEM：10 毫安/毫巴 | 10 微安/毫巴 | SEM：10 毫安/毫巴 | |
| 可檢測(cè) 部分壓力 | 1×10-7 帕 | 標(biāo)準(zhǔn)誤差均值: 1×10-10 帕 | 1×10-7 帕 | 標(biāo)準(zhǔn)誤差均值: 1×10-10 帕 |
| 7.5×10-10 托 | 標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境壓力：7.5×10-13 托 | 7.5×10-10 托 | 標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境壓力：7.5×10-13 托 | |
| 1×10-9 毫巴 | 標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境壓力：1×10-12 毫巴 | 1×10-9 毫巴 | 標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境壓力：1×10-12 毫巴 | |
| 最大工作 壓力 | FC：2帕 | FC: 2帕, SEM: 1×10-2帕 | FC：2帕 | FC: 2 Pa, SEM: 1×10-2Pa |
| FC: 1.5×10-2托 | FC: 1.5×10-2 SEM: 7.5×10-5 毫托 | FC: 1.5×10-2托 | FC: 1.5×10-2 SEM: 7.5×10-5 毫托 | |
| FC: 2×10-2 毫巴 | FC: 2×10-2 SEM: 1×10-4 毫巴 | FC: 2×10-2 毫巴 | FC: 2×10-2 SEM: 1×10-4 毫巴 | |
| 線性度 | 1帕 | |||
| 7.5×10-3 毫托 | ||||
| 1×10-2 毫巴 | ||||
| 總壓力函數(shù) | 有能力的 | |||
| 德加函數(shù) | 電子束類型 300V, 5mA | |||
| 一鍵功能 | 能夠 / 他 / H2氧 / N2 / 氧2 / 任何氣體 | |||
| 一鍵泄漏測(cè)試功能 | 有能力的 | |||
| 輸入功率 | DC24V ±10% 50W | |||
| 最大傳感器 工作溫度 | 120℃ (248℉) | |||
| 最大傳感器 工作溫度 | 250℃ (482℉) | |||
| 工作溫度 范圍 | 10到40℃（50到104華氏度） | |||
| 工作濕度 范圍 | 15%到80%（不冷凝） | |||
| 通信接口 | 以太網(wǎng) | |||
| 軟件 | Qulee QCS 版本 4.2 及以后 (Windows 8/10/11) | |||
| 適用標(biāo)準(zhǔn) | 歐洲共同市場(chǎng) | |||
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