日本OSAKA大阪磁懸浮軸承渦輪分子泵TG900M

日本OSAKA大阪磁懸浮軸承渦輪分子泵TG900M

TG900M是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款高性能磁懸浮軸承型渦輪分子泵，專為半導(dǎo)體制造、FPD（平板顯示器）制造、太陽能電池制造以及光學(xué)元件加工等需要超高真空環(huán)境的領(lǐng)域設(shè)計。

該泵采用優(yōu)良的磁懸浮軸承技術(shù)，實現(xiàn)了無油排氣，消除了機(jī)械接觸，減少了磨損和振動，延長了泵的使用壽命，同時降低了維護(hù)成本。磁懸浮軸承的應(yīng)用還使得泵體可以在任意角度安裝，適應(yīng)各種復(fù)雜的工作環(huán)境。

TG900M具有出色的排氣性能，其抽速可達(dá)900L/s（N?標(biāo)稱抽速），加裝金屬保護(hù)網(wǎng)后有效抽速仍可達(dá)860L/s，能夠滿足大流量氣體排放的需求。同時，該泵還具備高壓縮比，N?的最大壓縮比超過1×10?，H?的最大壓縮比為1.5×10?，可形成穩(wěn)定的超高真空環(huán)境，極限壓力低于1×10?? Pa（VG?ISO-B接口）/低于1×10?? Pa（CF接口）。

此外，TG900M還具備省電設(shè)計，能夠在保證高抽速的同時，有效降低能耗，為企業(yè)節(jié)省運營成本。該泵還支持多種通信接口，便于與各種控制系統(tǒng)進(jìn)行集成，實現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和自動化操作。同時，該泵符合CE、NRTL、SEMI-S2等國際安全標(biāo)準(zhǔn)，確保了產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)的通用性和安全性。

TG900M的啟動和停止時間均較短，啟動時間約為4～5分鐘，停止時間也為4～5分鐘，提高了生產(chǎn)效率。此外，該泵還具備低振動、無需調(diào)整、自動校準(zhǔn)、可控制轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)速度等優(yōu)點，為用戶提供了更加便捷、穩(wěn)定的使用體驗。