日本OSAKA大阪磁懸浮軸承渦輪分子泵TG397M

日本OSAKA大阪磁懸浮軸承渦輪分子泵TG397M

TG397M是日本OSAKA大阪真空推出的一款高性能磁懸浮軸承渦輪分子泵，專為半導體制造、FPD（平板顯示器）制造、太陽能電池制造以及光學元件加工等對真空環境要求嚴苛的領域設計，憑借無油潔凈、高效穩定的特性，成為真空應用場景的核心設備之一。

作為磁懸浮軸承技術的典型應用，TG397M通過電磁力實現轉子的無接觸懸浮，摒棄了傳統機械軸承的潤滑油需求，從根源上避免了油蒸汽對真空環境的污染，可構建純凈度的真空空間。其采用五軸主動磁懸浮控制系統，能穩定轉子運行，支持任意角度安裝，適配復雜設備布局，同時將振動與噪音降低水平，確保精密工藝不受干擾。

在核心性能上，TG397M表現出色：氮氣環境下標稱抽速達340L/s，加裝防護網后仍保持320L/s的高效抽氣能力，氫氣抽速為290L/s，可快速處理大流量氣體；氮氣最大壓縮比超1×10?，氫氣最大壓縮比達4.5×103，極限壓力低至1×10??Pa（CF接口），能穩定維持超高真空狀態。此外，泵體集成記憶功能，可存儲運行數據、參數設置及異常歷史，即使大修更換控制器，數據也能完整遷移，便于設備全生命周期管理。

TG397M還兼顧節能與智能化需求，采用省電設計降低長期運行成本，支持EtherCAT、RS232C等多種通信接口，可無縫接入自動化控制系統，實現遠程監控與操作。產品通過CE、NRTL、SEMI-S2等國際認證，安全性與通用性符合全球工業標準，為精密制造、科研實驗等場景提供可靠的真空解決方案。