日本OSAKA大阪磁懸浮軸承渦輪分子泵TG397M

日本OSAKA大阪磁懸浮軸承渦輪分子泵TG397M

TG397M是日本OSAKA大阪真空推出的一款高性能磁懸浮軸承渦輪分子泵，專為半導(dǎo)體制造、FPD（平板顯示器）制造、太陽能電池制造以及光學(xué)元件加工等對真空環(huán)境要求嚴(yán)苛的領(lǐng)域設(shè)計，憑借無油潔凈、高效穩(wěn)定的特性，成為真空應(yīng)用場景的核心設(shè)備之一。

作為磁懸浮軸承技術(shù)的典型應(yīng)用，TG397M通過電磁力實現(xiàn)轉(zhuǎn)子的無接觸懸浮，摒棄了傳統(tǒng)機械軸承的潤滑油需求，從根源上避免了油蒸汽對真空環(huán)境的污染，可構(gòu)建純凈度的真空空間。其采用五軸主動磁懸浮控制系統(tǒng)，能穩(wěn)定轉(zhuǎn)子運行，支持任意角度安裝，適配復(fù)雜設(shè)備布局，同時將振動與噪音降低水平，確保精密工藝不受干擾。

在核心性能上，TG397M表現(xiàn)出色：氮氣環(huán)境下標(biāo)稱抽速達(dá)340L/s，加裝防護(hù)網(wǎng)后仍保持320L/s的高效抽氣能力，氫氣抽速為290L/s，可快速處理大流量氣體；氮氣最大壓縮比超1×10?，氫氣最大壓縮比達(dá)4.5×103，極限壓力低至1×10??Pa（CF接口），能穩(wěn)定維持超高真空狀態(tài)。此外，泵體集成記憶功能，可存儲運行數(shù)據(jù)、參數(shù)設(shè)置及異常歷史，即使大修更換控制器，數(shù)據(jù)也能完整遷移，便于設(shè)備全生命周期管理。

TG397M還兼顧節(jié)能與智能化需求，采用省電設(shè)計降低長期運行成本，支持EtherCAT、RS232C等多種通信接口，可無縫接入自動化控制系統(tǒng)，實現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與操作。產(chǎn)品通過CE、NRTL、SEMI-S2等國際認(rèn)證，安全性與通用性符合全球工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，為精密制造、科研實驗等場景提供可靠的真空解決方案。