日本OSAKA大阪小型螺桿干式真空泵ER100D

日本OSAKA大阪小型螺桿干式真空泵ER100D

日本OSAKA大阪真空機器制作所推出的ER100D是一款高效節能的小型螺桿干式真空泵，專為需要無油、潔凈真空環境的精密應用設計。該泵憑借其緊湊結構、輕量化設計及性能，在半導體制造、分析儀器、真空鍍膜等領域得到廣泛應用。

ER100D采用多級螺桿轉子結構，通過單軸連接多級轉子進行壓縮，實現大氣壓下排氣，確保了潔凈真空環境。其獨特的轉子設計與空轉功能顯著降低了運行時的流體動力損失，使泵在低負載時能自動降低功耗，極限壓力下能耗僅為400W，成為同級產品中的節能。此外，該泵無需潤滑油，避免了油蒸氣或顆粒逆流至真空腔室，排氣潔凈度滿足ISO 1級潔凈室標準。

在性能參數方面，ER100D表現。其排氣速度達1670 L/min，極限壓力低至5 Pa，足以勝任低真空至中真空范圍的應用要求。泵體采用水冷設計，冷卻水用量為1.5-3 L/min，確保了長時間運行的穩定性。該泵體積小巧，占地面積僅0.11平方米，重量60公斤，便于搬運與安裝。電源要求為三相200-220V，50/60Hz，電源容量3.2kVA，適應多種工業環境。

ER100D提供兩種型號以滿足不同工藝需求：標準型ER100D適用于輕負載潔凈工藝的排氣；耐腐蝕型ER100DC則采用抗腐蝕材料制造，可排放腐蝕性氣體，適用于半導體工藝等苛刻環境。此外，該泵符合CE、SEMI、NRTL等國際標準，滿足全球市場的合規要求。

ER100D憑借其節能、緊湊、潔凈及耐腐蝕等特性，成為精密真空應用領域的理想選擇，為現代制造業提供了高效可靠的真空解決方案。