日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG350F

日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG350F

日本OSAKA大阪真空株式會社推出的TG350F滾珠軸承型渦輪分子泵，是一款集小型化、輕量化、高抗沖擊性與節能高效于一體的真空設備，專為高真空環境設計。

TG350F采用油脂潤滑滾珠軸承系統，結構緊湊，重量輕（VG/ISO-R法蘭型僅6kg，CF法蘭型9kg），顯著降低了設備整體負擔。其核心優勢在于的抗沖擊性能，可承受超過400次大氣沖擊，適用于安裝在移動設備或運動部件上，如排氣車、腔室門等，即使在泵運行時也可移動，甚至能在地震等環境下穩定重啟。

在性能方面，TG350F具備高效的抽氣能力，排氣速度達350L/s（N?），最大壓縮比N?為1×10?，H?為2×103，極限壓力低于1×10?? Pa，滿足超高真空需求。其啟動時間僅需2-2.5分鐘，停止時間5-6.5分鐘，支持快速工藝切換，提升生產效率。同時，該泵兼容多種氣體排放，包括惰性氣體和部分腐蝕性氣體（但排放腐蝕性氣體時需選用TG-M或TG系列耐腐蝕型號）。

TG350F還注重節能與環保，支持風冷與水冷兩種模式，空冷環境下允許溫度范圍10-32℃，水冷環境下擴展至10-40℃，適應不同工作環境。此外，該泵符合NRTL/SEMI-S2/CE安全標準，集成RS232C串行通信接口，支持遠程監控與數據傳輸，便于系統集成與管理。

TG350F廣泛應用于半導體制造、電子槍排氣、FPD制造、表面處理、分析檢測設備、光學部件制造及核聚變研究等領域，其小巧尺寸與自由安裝設計，使其成為實驗室、生產線及移動設備的理想選擇。