日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG553

日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG553

TG553是日本OSAKA大阪真空株式會社推出的一款高效、耐用的滾珠軸承型渦輪分子泵，專為高真空環(huán)境設(shè)計。該泵采用油脂潤滑滾珠軸承系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕（僅41kg），便于安裝和移動。其核心優(yōu)勢在于的抗沖擊性能，可承受超過400次大氣沖擊，適用于安裝在移動設(shè)備或運動部件上，如排氣車、腔室門等，即使在泵運行時也可移動，甚至能在地震等環(huán)境下穩(wěn)定重啟。

TG553具備出色的抽氣能力，排氣速度達550L/s（N?），附加金屬保護網(wǎng)時為430L/s，H?排氣速度為370L/s。最大壓縮比N?為1×10?，H?為3×103，極限壓力低于1×10?? Pa（VG/ISO-B法蘭）或1×10?? Pa（CF法蘭），滿足超高真空需求。其啟動時間僅需8-13分鐘，停止時間8-11分鐘，支持快速工藝切換，提升生產(chǎn)效率。同時，該泵兼容多種氣體排放，包括惰性氣體，但排放腐蝕性氣體時需選用TG-M或TG系列耐腐蝕型號。

TG553還注重節(jié)能與環(huán)保，支持風冷與水冷兩種模式，空冷環(huán)境下允許溫度范圍10-32℃，水冷環(huán)境下擴展至10-40℃，適應(yīng)不同工作環(huán)境。此外，該泵符合NRTL/SEMI-S2/CE安全標準，集成RS232C串行通信接口，支持遠程監(jiān)控與數(shù)據(jù)傳輸，便于系統(tǒng)集成與管理。

TG553廣泛應(yīng)用于半導體制造、電子槍排氣、離子源排氣、FPD制造、表面處理、分析檢測設(shè)備、管材制造、光學元件制造、加速器、輻射設(shè)施及核聚變研究等領(lǐng)域。其小巧尺寸與自由安裝設(shè)計，使其成為實驗室、生產(chǎn)線及移動設(shè)備的理想選擇。