東京精密ACCRETECH三坐標測量機ZEISS XENOS

東京精密ACCRETECH三坐標測量機ZEISS XENOS

ZEISS XENOS是東京精密ACCRETECH與蔡司合作推出的橋式三坐標測量機，作為精密測量領(lǐng)域的基準級參考設(shè)備，它突破了傳統(tǒng)高精度測量機“高精度與大測量范圍不可兼得"的行業(yè)瓶頸，廣泛應(yīng)用于科研機構(gòu)計量實驗室、航空航天、光學(xué)加工等對精度要求的領(lǐng)域，是目前全球超高精度測量領(lǐng)域的產(chǎn)品。

ZEISS XENOS的高精度優(yōu)勢源于材料與結(jié)構(gòu)的方位創(chuàng)新：設(shè)備主體核心結(jié)構(gòu)件采用創(chuàng)新碳化硅陶瓷，相比傳統(tǒng)氧化鋁陶瓷，熱膨脹系數(shù)僅為0.5倍，剛性提升30%，重量降低20%，優(yōu)異的熱穩(wěn)定性與結(jié)構(gòu)剛性從根源上減少了環(huán)境溫度變化、設(shè)備運行形變帶來的測量誤差，是實現(xiàn)超高精度測量的核心基礎(chǔ)。測量標尺采用熱膨脹近乎為零的零膨脹微晶玻璃(Zerodur®)，搭配蔡司表面張力浮動安裝方式，避免雙金屬效應(yīng)影響，消除了傳統(tǒng)標尺溫度補償帶來的不確定誤差。

在驅(qū)動結(jié)構(gòu)上，ZEISS XENOS采用全軸直線驅(qū)動設(shè)計，更搭載蔡司虛擬中心Y軸雙驅(qū)動技術(shù)，可根據(jù)X軸移動帶來的重心變化，實時優(yōu)化左右驅(qū)動的推力分配，配合新一代控制器與優(yōu)化算法，在整個測量范圍內(nèi)都實現(xiàn)了重復(fù)定位精度，路徑跟隨誤差低于100納米，哪怕是復(fù)雜曲面輪廓測量，也能保持探針的穩(wěn)定走位，保證測量結(jié)果的準確性。

這款測量機長度測量精度可達0.2+L/1000μm，測量范圍接近1立方米，規(guī)格為900×1500×700mm，可容納大尺寸精密工件同時保持超高精度，解決了傳統(tǒng)小量程高精度測量機無法適配大工件需求的痛點。設(shè)備標配增強型VAST gold基準測頭，針對高精度測量做了專門優(yōu)化，進一步提升了測量結(jié)果的可重復(fù)性。

作為基準級測量設(shè)備，ZEISS XENOS既可以作為國家計量機構(gòu)的量值傳遞標準，也可以用于航空航天零部件、光學(xué)鏡片、精密模具的高精度檢測，憑借精度與穩(wěn)定性能，成為超高精度測量領(lǐng)域的設(shè)備，也延續(xù)了東京精密與蔡司在精密測量領(lǐng)域的技術(shù)口碑。