日本OSAKA大阪渦輪分子泵TGkineMI-R系列

日本OSAKA大阪渦輪分子泵TGkineMI-R系列

TGkineMI-R系列是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款高性能磁懸浮軸承渦輪分子泵，專為半導體制造、FPD（平板顯示器）制造、太陽能電池制造以及光學元件加工等需要超高真空環境的領域設計，尤其適用于易生成反應生成物并在高溫下易揮發的設備。

該系列泵采用優良的磁懸浮軸承技術，通過磁力使轉子懸浮，實現非接觸支撐結構，從而不使用潤滑油，達到無油的狀態。這一設計不僅消除了機械接觸，減少了磨損和振動，還延長了泵的使用壽命，降低了維護成本。同時，磁懸浮軸承的應用還使得泵體可以在任意角度安裝，適應各種復雜的工作環境。

TGkineMI-R系列泵針對內部容易出現反應生成物的設備，采用了獨特的絕熱結構和自加熱機制，有效降低了反應生成物的堆積與固化，充分延長了分子泵的壽命與維護周期。此外，該系列泵還通過使用外部加熱器實現升溫，同時利用在泵內部產生的氣體的摩擦熱，來使接觸氣體部位高效率地升溫，從而減小了外部加熱器的輸出功率，達到了節能的效果。

在規格方面，TGkineMI-R系列泵提供了多種型號選擇，以滿足不同客戶的需求。這些泵具有不同的吸氣口規格、排氣速度和最大壓縮比等參數，可根據具體應用場景進行選擇。同時，該系列泵還實現了控制器和電源的一體化設計，不需要輸出電纜和控制器機架，減少了設備的占地面積。

此外，TGkineMI-R系列泵還支持多種通信接口，便于與各種控制系統進行集成，實現遠程監控和自動化操作。該系列泵還具備數據存儲功能，運行數據、觸地計數、型號信息等可以存儲在主機中，即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數據，方便用戶進行設備管理和維護。