日本OSAKA大阪渦輪分子泵TG-MI系列

日本OSAKA大阪渦輪分子泵TG-MI系列

TG-MI系列是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款高效節(jié)能加熱型磁懸浮渦輪分子泵，專(zhuān)為半導(dǎo)體制造、FPD（平板顯示器）制造、太陽(yáng)能電池制造以及光學(xué)元件加工等需要超高真空環(huán)境的領(lǐng)域設(shè)計(jì)，尤其適用于易生成反應(yīng)生成物并在高溫下易揮發(fā)的設(shè)備。

該系列泵采用優(yōu)良的磁懸浮軸承技術(shù)，通過(guò)磁力使轉(zhuǎn)子懸浮，實(shí)現(xiàn)非接觸支撐結(jié)構(gòu)，從而不使用潤(rùn)滑油，達(dá)到無(wú)油的狀態(tài)。這一設(shè)計(jì)不僅消除了機(jī)械接觸，減少了磨損和振動(dòng)，還延長(zhǎng)了泵的使用壽命，降低了維護(hù)成本。同時(shí)，磁懸浮軸承的應(yīng)用還使得泵體可以在任意角度安裝，適應(yīng)各種復(fù)雜的工作環(huán)境。

TG-MI系列泵針對(duì)內(nèi)部容易出現(xiàn)反應(yīng)生成物的設(shè)備，采用了獨(dú)特的絕熱結(jié)構(gòu)和自加熱機(jī)制。通過(guò)使用外部加熱器實(shí)現(xiàn)升溫，同時(shí)利用在泵內(nèi)部產(chǎn)生的氣體的摩擦熱，來(lái)使接觸氣體部位高效率地升溫。這一設(shè)計(jì)可以減小外部加熱器的輸出功率，達(dá)到節(jié)能的效果，同時(shí)防止主要部分受到熱度影響，防止泵受損。此外，該系列泵的排氣口還采用了絕緣材料，保持了最佳溫度，防止排氣口堆積生成物。

在規(guī)格方面，TG-MI系列泵提供了多種型號(hào)選擇，如TG390MI、TG420MI、TG900MI、TG1300MI、TG2400MI等，以滿(mǎn)足不同客戶(hù)的需求。這些泵具有不同的吸氣口規(guī)格、排氣速度和最大壓縮比等參數(shù)，可根據(jù)具體應(yīng)用場(chǎng)景進(jìn)行選擇。

此外，TG-MI系列泵還支持多種通信接口，便于與各種控制系統(tǒng)進(jìn)行集成，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和自動(dòng)化操作。該系列泵還具備數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能，運(yùn)行數(shù)據(jù)、觸地計(jì)數(shù)、型號(hào)信息等可以存儲(chǔ)在主機(jī)中，即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數(shù)據(jù)，方便用戶(hù)進(jìn)行設(shè)備管理和維護(hù)。