產品型號：
更新時間：2026-06-02
廠商性質：代理商
訪 問 量 ：165
028-68749778
產品分類
| 品牌 | ACCRETECH/東京精密 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
日本ACCRETECH東京精密半導體設備SS11
日本ACCRETECH東京精密半導體設備SS11
特長
緊湊型設計 Φ150mm晶圓兼容減薄機
追求窄幅設計，大幅提高多臺設備并排布置時的單位面積生產力。
高性能?高出力 spindle 標準配備
額定功率1.8kW，最高轉速60,000rpm。
額定功率2.2kW 的高扭矩 spindle 也可以作為選項配備。
從 Si 到電子元件，支持各種設備的切割。
提高生產力（吞吐量）
剛性提升+ X軸伺服電機化
實現緊湊型占地面積與高吞吐量
操作性
采用17英寸觸摸屏+GUI（圖形用戶界面）。
只需觸摸圖標化的按鈕，即可實現簡單操作和舒適操作。
搭載與AD/SS系列相同的操作體系，方便使用。
規格
| 最大工作尺寸 | 直徑150毫米 |
| 主軸布局 | 單軸 |
| 主軸定格 | 1.8千瓦 |
| 主軸 最高轉速 | 60,000 轉/分鐘 |
| X軸 送入速度輸入范圍 | 0.1-300 毫米/秒 |
| X軸 速度返回 | 750 毫米/秒 |
| Y軸 分解能 | 0.0001 毫米 |
| Y軸 位置精度 | 0.002 毫米/162 毫米 |
| Z軸 重復精度 | 0.001 毫米 |
| Z軸 標準對應刀片徑 | Φ48-60 毫米 |
| 規格 尺寸（W x D x H） | 495 毫米 x 880 毫米 x 1,715 毫米 |
| 規格 質量 | 389 公斤 |
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