日本大塚電子（OTSUKA ELECTRONICS）OPTM系列顯微分光膜厚計，是一款可?替代橢偏儀?的高性價比無損膜厚檢測利器，基于?顯微光譜干涉+絕對反射率分析法?，實現非接觸、非破壞式測量，廣泛服務于半導體、FPD顯示、光學鍍膜等制造領域。

?核心技術與性能?：寬光譜光源經反射式顯微物鏡照射樣品，采集薄膜表面與膜/基底界面的光干涉反射光譜，通過FFT/非線性擬合算法解析干涉波形，換算膜厚與光學常數（折射率n、消光系數k）。單點對焦加量測?≤1秒完成?，SiO?重復精度?<0.2nm?，最高可同時解析?50層多層復合薄膜?，最小光斑僅?φ3μm?，可對晶圓微小焊盤、鈍化膜等微區精準定位測量。反射式物鏡，物理消除透明基板（玻璃/石英）背面反射干擾，即使基板內部反射嚴重也能獲取真實膜厚值。

?三大機型×三檔波長，靈活選配?：

其中?OPTM-A?為自動XY平臺型（200×200mm，支持12寸晶圓Mapping掃描，重約66kg）；?OPTM-F?為固定臺架型（研發檢測，38kg）；?OPTM-H?為分體探頭型（僅4kg，可自由嵌入產線inline在線檢測）。軟件內置初學者解析向導與宏編程功能，無需專業光學知識即可快速上手。

?應用領域?：半導體（Si/SiC/GaAs晶圓絕緣膜、光刻膠）、FPD（LCD彩色濾光片、OLED有機膜/封裝膠）、光學鍍膜（AR增透膜、DLC類金剛石膜）、功能高分子（HC硬涂層、防指紋膜、偏光膜）等。