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日本ULVAC愛發科擺動活干式真空泵DOP-40D往復式活塞式干式真空泵是一種通過連接到偏心旋轉軸的活塞往復運動來輸送氣體的機械真空泵。
日本ULVAC愛發科滾動式干真空泵DIS-252這是一個通過螺旋墻（旋轉 scroll）的偏心運動來抽氣的真空泵，它面對著固定螺旋墻（固定 scroll）。
日本ULVAC愛發科多級羅茨式干式真空泵GR60低溫分布的均勻性。在PVD工藝中，抽空LL腔的優化泵，縮短排氣時間以提高吞吐量很重要功能。
日本ULVAC愛發科多級羅茨式干式真空泵LR60低溫分布的均勻性。在PVD工藝中，抽空LL腔的優化泵，縮短排氣時間以提高吞吐量很重要。 功能
日本ULVAC愛發科螺桿式干式真空泵LS120A型號:MS“ 是一種螺桿式干式真空泵。 耐腐蝕性和粉末排氣性能得到了基于傳統“LS 型號“的工藝阻力模型的提升。 該型號專為使用腐蝕氣體和粉末排氣的工藝設計。
日本ULVAC愛發科螺桿式干式真空泵MS120A型號:MS“ 是一種螺桿式干式真空泵。 耐腐蝕性和粉末排氣性能得到了基于傳統“LS 型號“的工藝阻力模型的提升。 該型號專為使用腐蝕氣體和粉末排氣的工藝設計。
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