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OTSUKA/日本大塚
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日本OTSUKA大塚顯微分光膜厚計OPTM系列 OPTM(オプティム)是利用顯微分光進行微小區域絕對反射率測量的裝置，能夠實現高精度的膜厚和光學常數解析。 可以非破壞性、非接觸性地測量各種薄膜、晶圓、光學材料等的涂層膜厚度或多層膜。測量時間可以達到每點1秒的高速測量。此外，還配備了即使初次使用也能輕松進行光學常數解析的軟件。
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