日本OTSUKA大塚西南代理膜厚測(cè)定用MCPD6800

日本OTSUKA大塚西南代理膜厚測(cè)定用MCPD6800

日本OTSUKA大塚電子膜厚測(cè)定專(zhuān)用MCPD系列，是依托其標(biāo)志性“瞬間多通道測(cè)光"技術(shù)打造的高性能光譜干涉式膜厚檢測(cè)系統(tǒng)，專(zhuān)為半導(dǎo)體、顯示面板、功能薄膜等行業(yè)的高精度膜厚質(zhì)控場(chǎng)景設(shè)計(jì)，是兼顧實(shí)驗(yàn)室研發(fā)與工業(yè)在線監(jiān)測(cè)的通用型膜厚檢測(cè)產(chǎn)品。

該系列以多通道并行檢測(cè)架構(gòu)為核心，摒棄傳統(tǒng)光譜儀逐點(diǎn)掃描的低效模式，一次曝光即可捕獲全波段完整光譜，最快5毫秒即可完成單次測(cè)量，動(dòng)態(tài)范圍可達(dá)1,000,000:1以上，雜散光水平僅為傳統(tǒng)機(jī)型的五分之一，能精準(zhǔn)捕捉薄膜上下表面反射形成的微弱干涉信號(hào)，避免雜散光干擾帶來(lái)的膜厚解析誤差。全系列支持65nm~92μm的SiO?當(dāng)量膜厚測(cè)量范圍，可覆蓋從納米級(jí)超薄氧化膜到微米級(jí)厚涂層的絕大多數(shù)工業(yè)檢測(cè)需求，部分機(jī)型還支持多層膜同步解析，適配復(fù)雜復(fù)合涂層的檢測(cè)場(chǎng)景。

產(chǎn)品采用模塊化柔性設(shè)計(jì)，標(biāo)配2米長(zhǎng)的石英投受光Y型光纖，僅需將小巧的檢測(cè)探頭對(duì)準(zhǔn)待測(cè)樣品，主機(jī)即可放置在遠(yuǎn)離檢測(cè)工位的穩(wěn)定區(qū)域，輕松適配真空腔室、CMP研磨工位、成膜產(chǎn)線機(jī)臺(tái)等復(fù)雜安裝環(huán)境，無(wú)需對(duì)產(chǎn)線結(jié)構(gòu)進(jìn)行大規(guī)模改造。全系列搭載USB+LAN雙通信接口，支持遠(yuǎn)程控制與數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)上傳，可直接對(duì)接產(chǎn)線PLC系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)膜厚數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)反饋與工藝閉環(huán)調(diào)整，在高速運(yùn)行的薄膜生產(chǎn)線上也能完成全幅面TD方向的膜厚實(shí)時(shí)監(jiān)控。

系列內(nèi)可根據(jù)需求靈活選配機(jī)型：旗艦款MCPD-9800適配半導(dǎo)體晶圓超薄膜高精度檢測(cè)，標(biāo)準(zhǔn)款MCPD-6800以高性價(jià)比覆蓋常規(guī)實(shí)驗(yàn)室與通用產(chǎn)線質(zhì)控場(chǎng)景，還可搭配不同波長(zhǎng)的檢測(cè)器主體，實(shí)現(xiàn)從深紫外220nm到近紅外1600nm的全波段覆蓋，適配ITO導(dǎo)電膜、光刻膠、AR增透膜、鋰電池功能涂層等不同材質(zhì)薄膜的專(zhuān)屬檢測(cè)需求。