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日本OTSUKA大塚 嵌入式膜厚監(jiān)測器

日本OTSUKA大塚智能膜厚儀 SM-100系列 「便攜式手提類型」1.1公斤，輕便易攜帶 「高精度測量＆簡單測量」最薄0.1 μm直到可以測量而無需刻度線 「多層膜也支持」可測量三層及以下的多層膜 「非破壞?非接觸測量」不會傷害樣品也能進行測量 「 ???サンプルを測定」基材（玻璃?塑料）を選ばず測定可能

日本OTSUKA大塚顯微分光膜厚計FE-300F系列 這是一款通過高精度的光干涉法進行膜厚測量的小型且價格低廉的膜厚計，實現(xiàn)了簡單操作。 我們采用了將所需設(shè)備集成在主機內(nèi)的多功能型結(jié)構(gòu)，從而實現(xiàn)了穩(wěn)定的數(shù)據(jù)獲取。 盡管價格低廉，但通過獲取絕對反射率，也能夠進行光學(xué)常數(shù)的解析。

日本OTSUKA大塚顯微分光膜厚計OPTM系列 OPTM(オプティム)是利用顯微分光進行微小區(qū)域絕對反射率測量的裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的膜厚和光學(xué)常數(shù)解析。 可以非破壞性、非接觸性地測量各種薄膜、晶圓、光學(xué)材料等的涂層膜厚度或多層膜。測量時間可以達到每點1秒的高速測量。此外，還配備了即使初次使用也能輕松進行光學(xué)常數(shù)解析的軟件。