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日本OTSUKA大塚西南代理分光膜厚計OPTM(オプティム)是利用顯微分光進行微小區(qū)域絕對反射率測量的裝置,能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的膜厚和光學(xué)常數(shù)解析。 可以非破壞性、非接觸性地測量各種薄膜、晶圓、光學(xué)材料等的涂層膜厚度或多層膜。測量時間可以達到每點1秒的高速測量。此外,還配備了即使初次使用也能輕松進行光學(xué)常數(shù)解析的軟件。
日本OTSUKA大塚西南代理光度計MCPD-6800是從紫外線到近紅外區(qū)域的多功能多通道分光檢測器。最短5毫秒內(nèi)可以進行分光光譜測量。通過標準裝置的光纖,可以在不特定樣品種類的情況下,對應(yīng)各種測量系統(tǒng)。從顯微分光、光源發(fā)光、透過反射測量開始,通過軟件組合,還可以對應(yīng)物體顏色評價、膜厚測量等。
日本OTSUKA大塚西南代理光度計MCPD-9800是從紫外線到近紅外區(qū)域的多功能多通道分光檢測器。最短5毫秒內(nèi)可以進行分光光譜測量。通過標準裝置的光纖,可以在不特定樣品種類的情況下,對應(yīng)各種測量系統(tǒng)。從顯微分光、光源發(fā)光、透過反射測量開始,通過軟件組合,還可以對應(yīng)物體顏色評價、膜厚測量等。
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