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德國Bruker/布魯克 Dektak XTL探針式輪廓儀 Dektak XTL™ 探針式輪廓儀可容納高達 350mm x 350mm 的樣品，為大型晶圓和面板制造帶來Dektak ®傳奇的可重復性。Dektak XTL 具有空氣振動隔離設計和全封閉工作站設計，具有易用的聯鎖門，是當今苛刻的生產車間環境的的理想之選。其雙攝像頭架構可增強空間感知能力，其高自動化水平可更大限度地提高測試通量。
德國Bruker/布魯克 觸針式輪廓儀Dektak Pro Dektak Pro 提供高分辨率、低噪聲地板和任何商業上可用的觸針輪廓儀中具準確性和精確性的數據。*的測量和分析技術大限度地提高了可重復性和準確性，使單納米步高測量和優于 4 Å 的可重復性成為可能。
美國KLA科磊Tencor® P-17探針式輪廓儀P-17探針式輪廓儀為生產和研發(R&D)環節提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達200毫米，無需拼接。
美國KLA科磊Tencor® P-7 探針式輪廓儀Tencor P-7探針式輪廓儀為生產和研發(R&D)環節提供了從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達150毫米，無需拼接。
美國KLA科磊HRP®-260探針式輪廓儀 HRP®-260 是一個高分辨率、自動化探針式輪廓儀，提供從幾納米到 300 微米的臺階高度測量功能。P-260支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D和3D測量，掃描范圍可達 200 毫米且無需拼接。HRP®-260 配置了與 P-260 相同的功能，但增加了高分辨率樣品臺以獲得類似 AFM 的掃描結果。HRP 系列高分辨率輪廓儀具有*的圖形識別算法
美國KLA科磊Tencor® P-170 探針式輪廓儀Tencor P-170是一款自動化輪廓儀，可為生產環節提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，掃描范圍可達200毫米而無需拼接。Tencor P-170具有*的圖形識別算法、增強的光學系統和*的樣品臺，可實現穩定的性能和系統之間程式傳輸的無縫銜接 - 這是實現全天候生產的關鍵。
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