日本KOSAKA小坂微細穴三次元測定機FP-Labo

日本KOSAKA小坂微細穴三次元測定機FP-Labo是一款專為微細孔內部形貌測量設計的高精度接觸式測量儀。該設備采用纖維測針技術，可探測微細孔（φ10μm起）至深度約300μm的深孔內部形貌，擁有10nm的高分辨率，能夠在非破壞條件下精確測得深孔內徑、深度、壁面粗糙度、圓度、平面度及直角度等參數。

FP-Labo的核心優勢在于其創新的測針技術與精密機械結構。纖維測針的細小直徑使其能夠進入傳統測針難以觸及的微小孔徑，而高剛性工作臺與空氣軸承系統則有效抑制外部震動，確保測量穩定性。設備配備直動式傳感器，支持Z方向自動停止功能，通過伺服控制自動尋找最佳測量位置，減少手動微調需求，顯著提升操作效率。此外，FP-Labo采用高分辨率CCD實時觀測探針工作狀態，便于精準定位測試區域，同時支持中文化軟件，除臺階分析外還具備粗糙度解析功能，滿足多樣化檢測需求。

該設備廣泛應用于半導體、光電、機械加工及科研領域，尤其適用于MEMS器件、光電子元件、精加工表面及生物醫學器件等微米/納米級材料的膜厚、臺階及段差測量。其高精度與高重復性（1σ 0.5nm以內）使其成為質量控制與研發分析的理想工具，既能滿足車間環境中的快速幾何測量需求，也可勝任實驗室對高精度測量的嚴苛要求。FP-Labo的推出，進一步鞏固了KOSAKA小坂研究所在精密測量領域的地位。