日本KOSAKA小坂微細穴三次元測定機FP3030

日本KOSAKA小坂微細穴三次元測定機FP3030是日本KOSAKA小坂研究所針對微細深孔測量難題研發的高精度接觸式測量儀，融合了產學研合作成果，為半導體、汽車、精密機械等行業提供了可靠的解決方案。該設備采用高彈性光纖維測針，結合激光、三棱鏡與光電二極管構成的傳感測量裝置，能夠以微小的測定力（10μN~500μN）測量直徑最小10μm、最大300μm的深孔內部形狀，垂直分辨率達10nm，重復精度在20nm以下（以孔徑80μm為例），滿足微米/納米級精度需求。

FP3030的核心優勢在于其突破傳統測量的技術瓶頸。面對極小寬深比的深孔，傳統接觸式測量因測針直徑過粗或針尖角度過大，難以深入測量側壁粗糙度；非接觸式光學測量則受限于光的干涉、對焦困難及數據點不足。FP3030通過質輕纖細的光纖維測針，以圓周型軌跡接觸深孔側壁采集數據，光電二極管受光量隨測針位置變化，從而精準測量內徑、外徑、深度、側壁形狀等參數。其測量軟件支持真圓度、圓柱度、直徑、臺階、槽寬、直角度、粗糙度等多種參數解析，功能全面。

FP3030已廣泛應用于多個領域：半導體封裝TSV（硅通孔技術）的側壁粗糙度測量（孔徑10μm，深度100-500μm）、汽車燃料噴嘴口形狀測量（孔徑10-100μm）、打印機油墨噴嘴口內部形狀測量（孔徑數十微米）、紡織機械線嘴內部形狀測量（孔徑10-100μm）等。其高精度、高重復性及非破壞性測量特點，使其成為質量控制與研發分析的理想工具，既能滿足車間環境中的快速幾何測量需求，也可勝任實驗室對高精度測量的嚴苛要求。